光栅位移检测及其应用

第一章 绪论
第一节 检测技术与传感器
第二节 位移精密测量技术研究现状
第三节 传感器信号的处理与研究
第四节 涡流传感器
第五节 光纤光栅传感器
第二章 光栅的制造及组件
第一节 光栅制造概述
第二节 基于莫尔条纹的光栅读数头与光栅光学系统
第三节 光电信号处理技术
第四节 光源和光电探测系统
第五节 光栅测量仪器的电路系统
第三章 基于莫尔条纹的双层光栅位移检测
第一节 莫尔条纹概述
第二节 探测莫尔条纹的研究方法
第三节 基于莫尔条纹的高精度位移测量方案
第四节 基于莫尔条纹的精密测速方法
第四章 基于近场泰伯像的光栅位移检测及其应用
第一节 Talbot效应
第二节 基于Talbot效应的位移测量原理及理论模型
第三节 基于单光栅衍射测量位移的系统
第五章 基于光栅检测理论的应用
第一节 单层光栅位移检测理论下微陀螺的设计与应用
第二节 纳米精度计量光栅的理论研究
第三节 衍射光栅的光谱学
第四节 衍射光栅的非光谱学
第五节 精密导航技术
参考文献