本书的王要内客包括四部分:部分为引论与建模(包括引论光学和非光学相互结合的方法表征多孔氧化锆样品.宽光谱区薄膜表征的通用色散模型从头计算预测光学特性);第二部分为分光光度法和椭圆偏振光谱法(包括薄膜的反射光谱成像法光学表征,成像分光光度法的数据处理方法.单层膜与多层膜的在线和离线分光光度法);第三部分为缺陷和渡纹的薄膜表征(包括缺陷薄膜的光学表征,光学薄膜的扫描探针显微技术表征.共振波导光栅结构.深紫外线册偏振片的偏振控制);第四部分为散射和吸收(包括光学薄膜的粗糙度与散射,光学薄膜中的吸收和荧光测量,光学薄膜表征的环形腔衰荡技术)。全书既讨论了表征技术的优点,也没有规避表征技术的缺点。本书对于固体薄膜技术领域内的应用基础研究和工程技术研究具有重要的参考价值,适合从事薄膜技术研究和应用领域的工程技术人员、研究生与高年级本科生阅读及使用。参与固体薄膜表征任务的科学家或工程师都能从本书中获益。