批间控制理论与设计方法

目录
前言
第1章　批间控制概述　1
1.1　引言　1
1.2　批间控制算法　3
1.2.1　基于静态模型的批间控制器　4
1.2.2　基于动态模型的批间控制器　8
1.3　混合制程的批间控制器　10
1.3.1　线程批间控制算法　10
1.3.2　非线程批间控制算法　12
1.4　主要内容　14
参考文献　15
第2章　混合制程的批间控制　19
2.1引言　19
2.2　混合制程的线程控制模式　19
2.3　混合制程的非线程控制模式　23
2.4　基于JADE的批间控制器设计　24
2.4.1　基于JADE的状态观测器　24
2.4.2　算例分析　26
2.5　基于ANOVA的批间控制器设计　30
2.5.1　基于ANOVA的状态观测器　30
2.5.2　算例分析　33
2.6　本章小结　37
参考文献　37
第3章　G&P-EWMA批间控制　39
3.1　引言　39
3.2　G&P-EWMA批间控制　40
3.2.1　Pb-EWMA批间控制器设计　40
3.2.2　G&P-EWMA批间控制器设计　41
3.2.3　G&P-EWMA批间控制器参数优化　45
3.3　算例分析　48
3.3.1　数值仿真　49
3.3.2　工业案例　53
3.4　本章小结　56
参考文献　56
第4章　基于贝叶斯估计的批间控制　58
4.1　引言　58
4.2　基于贝叶斯估计的状态观测器　58
4.2.1　贝叶斯估计理论　58
4.2.2　状态空间模型　59
4.2.3　状态观测器设计　61
4.3　算例分析　66
4.3.1　机台跳变扰动　66
4.3.2　机台漂移扰动　69
4.3.3　新旧产品交替　71
4.3.4　模型不匹配　73
4.3.5　低频产品　73
4.3.6　不同扰动下的贝叶斯估计法　74
4.4　工业数据实例分析　75
4.5　本章小结　77
参考文献　78
第5章　基于扩张状态观测器的批间控制　79
5.1引言　79
5.2　基于LESO的批间控制　80
5.2.1　LESO批间控制器设计　80
5.2.2　LESO批间控制器稳定性分析　81
5.2.3　批间控制器的内模控制描述　84
5.3　基于NLESO的混合制程批间控制　85
5.3.1　NLESO批间控制器设计　85
5.3.2　NLESO批间控制器稳定性分析　86
5.4　算例分析　88
5.4.1　机台跳变扰动　88
5.4.2　机台漂移扰动　90
5.4.3　跳变、漂移和IMA(1，1)模型复合扰动　91
5.4.4　ARIMA(1，1，1)干扰和模型不匹配复合扰动　92
5.5　工业数据实例分析　93
5.6　本章小结　98
参考文献　98
第6章　带测量时延制程的批间控制器性能分析　100
6.1　引言　100
6.2　带固定测量时延制程的批间控制器性能分析　101
6.3　带时变测量时延制程的批间控制器性能分析　103
6.3.1　批间控制器稳定性分析　103
6.3.2　带固定间隔测量时延制程的批间控制器稳定性分析　109
6.3.3　带随机时变测量时延制程的批间控制器稳定性分析　110
6.4　带时变随机测量时延制程的批间控制器设计　113
6.4.1　测量时延概率估计　114
6.4.2　系统输出静差调整　116
6.4.3　系统稳定性分析　118
6.4.4　算例分析　120
6.5　本章小结　122
参考文献　123
第7章　批间控制器性能评估方法　124
7.1　引言　124
7.2　典型干扰下的批间控制性能分析　125
7.3　基于参数估计的批间控制性能评估算法　127
7.3.1　参数估计　127
7.3.2　性能评估指标　129
7.3.3　算例分析　130
7.4　基于贝叶斯后验概率的批间控制性能评估算法　132
7.4.1　贝叶斯后验概率　132
7.4.2　贝叶斯性能评估指标　134
7.4.3　算例分析　135
7.5　基于贝叶斯性能评估的批间控制器协同设计　136
7.5.1　批间控制器协同设计方法　136
7.5.2　算例分析　139
7.6　本章小结　141
参考文献　141