目录
前言
第1章 绪论 1
1.1 研究背景及意义 1
1.2 MEMS动力学特性 2
1.3 MEMS非线性特性 4
1.4 微观尺度力学理论研究方法概述 5
1.5 微结构动力学特性测试与实验方法 10
1.6 MEMS数值模拟 12
1.7 吸合效应 13
1.8 微型梁的非线性振动 14
第2章 基于微极弹性理论的非线性微梁模型的尺度效应 16
2.1 引言 16
2.2 微极弹性理论介绍 18
2.3 控制方程及边界条件 20
2.4 静态弯曲 25
2.5 自由振动 29
2.6 本章小结 36
第3章 基于修正偶应力理论的微梁尺度效应非线性动力学 38
3.1 引言 38
3.2 控制方程及边界条件 39
3.3 受迫振动分析 42
3.3.1 主共振(Ω≈p)分析 43
3.3.2 超谐共振(3Ω≈p)分析 47
3.3.3 亚谐共振(Ω≈3p)分析 50
3.3.4 2Ω≈p及Ω≈2p的振动 52
3.4 本章小结 53
第4章 基于修正偶应力理论的非线性微梁的时滞反馈控制 54
4.1 引言 54
4.2 控制方程及边界条件 55
4.3 受迫振动分析 57
4.3.1 主共振(Ω≈p)分析 57
4.3.2 超谐共振(3Ω≈p)分析 63
4.3.3 亚谐共振(Ω≈3p)分析 70
4.4 本章小结 75
第5章 静电激励微简支梁吸合电压的尺度效应分析 77
5.1 引言 77
5.2 控制方程及边界条件 78
5.3 吸合电压特性分析 79
5.4 尺度效应分析 82
5.5 本章小结 85
第6章 总结 86
参考文献 88