化学铣切技术

第一章绪论 001
第一节化学铣切的发展简史 001
一、从古代到16世纪末 001
二、17～19世纪 002
三、20世纪至今 002
第二节工艺简介 003
一、工艺 003
二、典型工艺 004
三、工艺的基本要求 004

第二章化学铣切特点类型及限制因素 006
第一节化学铣切加工的特点 006
一、化学铣切加工特点 006
二、化学铣切与金属冲裁的比较 007
三、化学铣切的精度 008
四、化学铣切在加工精密产品方面的应用 011
五、化学切割铣切带的作用 011
六、化学铣切的技术效益 012
第二节化学铣切的类型 013
一、整体铣切加工 013
二、选择铣切加工 014
三、多台阶铣切加工 017
四、锥度铣切 023
五、化学铣切下料 025
第三节化学铣切在加工方面的限制与难点 026
一、化学铣切最主要的限制 026
二、关于尺寸的控制问题 028
三、表面粗糙度的限制 030
四、对材料力学性能的影响 031
五、氢脆问题 033

第三章化学铣切的原理及常用化学品的特点038
第一节化学铣切的原理 038
一、化学铣切的定义 038
二、化学腐蚀 040
三、电化学腐蚀 041
四、金属腐蚀的条件 042
五、原电池对金属腐蚀及表面粗糙度的影响 043
六、化学铣切的反应过程 043
七、化学铣切中的二控一配 044
第二节化学铣切常用化学品的基本性质 045
一、硫酸（H2SO4） 045
二、硝酸（HNO3） 048
三、盐酸（HCl） 051
四、氢氟酸（HF） 052
五、磷酸（H3PO4） 053
六、氢氧化钠（NaOH） 054
七、氯化铜 055
八、无水三氯化铁 055
九、氟化氢铵 056
十、氟硼酸 057
十一、硝酸铵 057
十二、硝酸钠 058
十三、过氧化氢 058
十四、氯化铵 059
十五、氯酸钠（NaClO3） 060
十六、氟化铵（NH4F） 060
十七、氟化氢钾（KHF2） 061
十八、氟硅酸（H2SiF6） 062
十九、硝酸铁[Fe(NO3)3] 062
二十、硫酸铁[Fe2(SO4)3] 063
二十一、过硫酸铵[(NH4)2S2O8] 064
二十二、羟基乙酸（C2H4O3） 064
二十三、其他主要化工原料 065
第三节腐蚀剂对人体及环境的危害与防护措施 065
一、腐蚀剂及化学烟雾对操作人员的危害 065
二、突发事故的紧急救治方法 067
三、硫酸对工作人员的危害及救治措施 068
四、氟化物对环境的污染及对工作人员的危害与救治 069
五、氮氧化物对工作人员的危害与救治及对环境的污染 069
六、其他酸碱对工作人员的危害及救治 072

第四章常用材料化学铣切的方法074
第一节铝及其合金的化学铣切 074
一、铝的概况 074
二、铝合金腐蚀的特点 075
三、通用碱性化学铣切 077
四、改良的碱性铣切液 085
五、铝合金酸性铣切液 089
六、铝在酸性铣切液中应注意的问题 091
七、溶液再生及旧液中铝离子的分离 092
八、关于酸-碱联合铣切的方法 095
九、铝合金零件表面黑灰色膜的处理 096
十、化学铣切后化学抛光及阳极氧化后无镍封闭问题 096
第二节铜及其合金的化学铣切 098
一、铜的概况及铣切特点 098
二、三氯化铁铣切方法 099
三、酸性氯化铜铣切方法 101
四、硫酸-过氧化氢铣切方法 106
五、碱性氯化铜铣切方法 109
六、过硫酸铵铣切方法 111
第三节不锈钢及普通钢的化学铣切 112
一、普通型铣切液 113
二、王水型铣切液 116
三、三氯化铁的再生 121
第四节钛合金的化学铣切 124
一、钛的基本性质 124
二、钛合金的铣切 125
三、钛合金铣切液中钛的回收 130
第五节其他材料的化学铣切 131
一、其他金属的化学铣切 131
二、金属的粗糙化处理技术 133
第六节玻璃的化学铣切 135
一、玻璃的简史 135
二、玻璃的分类及应用 136
三、玻璃的化学组成 137
四、玻璃的化学铣切原理及无渣化学铣切的实现 138
五、玻璃的化学铣切方法 138
六、玻璃的化学打砂与化学抛光 139141

第五章表面预处理及水洗技术
第一节表面预处理 141
一、溶剂清洗 143
二、化学清洗 145
三、电解清洗 150
四、除锈 151
五、金属表面微粗化及钝化处理 151
六、酸洗 153
七、水洗 154
八、预处理质量控制 154
第二节水洗技术 158
一、水洗的目的 158
二、水洗模型的建立 159
三、连续给水多级串联逆流清洗技术 162
四、连续给水串联清洗技术的应用 165
五、间隙式多级逆流清洗技术 167
六、间隙式多级逆流清洗给水量的计算 170
七、连续式和间隙式给水总量比较 172
八、间隙给水-连续给水混合清洗系统简介 173

第六章防蚀技术175
第一节照相底片制作 175
一、银盐感光片的制作方法 176
二、重氮片简介 179
三、照相底片的检验 180
四、底片图文线条及外形尺寸的确定 181
五、拼版技术 182
第二节防蚀层制作的基本要求 183
一、对防蚀层的要求 183
二、防蚀层制作技术简介 184
第三节丝网印刷图文防蚀技术 186
一、丝网 186
二、绷网 191
三、丝网印刷网版的制作 196
四、丝网印刷方法 200
五、丝网印刷线条粗细极限值 204
六、丝网印刷中常见问题与处理方法 205
七、丝印防蚀层的质量控制 207
八、丝印后的自检与互检 208
第四节照相制版防蚀技术 209
一、干膜光致抗蚀剂的分类及结构 210
二、干膜光致抗蚀剂法的技术条件 211
三、图文转移工艺流程 214
四、图形转移常见故障及排除方法 220
第五节液体光致抗蚀剂法 221
一、液体光致抗蚀剂法工艺过程 222
二、感光图形转移质量控制 225
三、液体光致抗蚀法所需设备及材料 226
四、常见故障产生原因及排除方法 227
第六节激光光刻防蚀技术 229
一、电泳涂装原理及特点 230
二、电泳涂装工艺主要参数控制 230
三、激光光刻 232
四、防蚀层质量检查 233
第七节刻划法制作防蚀层 234
一、防蚀层的涂覆 234
二、可用于刻划的保护材料 237
三、防蚀层的质量检查 237
四、样板的要求及制作 238
五、图形刻划 239
六、刻划法的质量控制 240
七、常见故障产生原因及排除方法 241

第七章化学铣切及实例242
第一节化学铣切应注意的问题 242
一、化学铣切工艺的设计 243
二、化学铣切前的工作 245
三、关于化学铣切的速率问题 245
四、化学铣切时间的计算 247
五、化学铣切液选择的原则 248
六、化学铣切过程的控制 249
七、溶液体积及初始浓度的确定 250
八、化学铣切液的负荷量 251
九、化学铣切方式及化学铣切设备的选择 253
十、防蚀层的清除 254
十一、化学铣切常见故障产生原因及排除方法 255
十二、金属化学铣切前质量验收技术条件（QJ A 953—1995） 256
十三、金属化学铣切产品验收技术条件(QJ A 954—1995) 257
十四、工艺规范与工艺编制关系 258
十五、传输式蚀刻机的布局及节水方法 259
第二节影响化学铣切质量的因素 260
一、表面预处理及防蚀层对化学铣切的影响 260
二、关于化学铣切液更换的最优化原则及化学铣切加工注意事项 261
三、工艺质量控制方法 263
第三节铝合金氧化图文化学铣切加工方法 263
一、工艺流程及工艺过程详解 264
二、常见故障处理方法 269
第四节嵌漆图文化学铣切加工方法 270
一、工艺流程及工艺过程详解 271
二、常见故障处理方法 275
第五节化学铣切制程管理及工程管理简介 276

第八章模具图文化学铣切283
第一节模具图文化学铣切技术 283
一、模具图文化学铣切概述 283
二、皮革纹胶片拼版技术 284
三、图形转移载体膜 288
四、非水溶性载体膜的制作 289
五、水溶性载体膜的制作 291
六、图形转移及化学铣切 292
第二节模具图文化学铣切制作过程 294
一、模具预处理 294
二、图形转移 302
三、修模 309
四、保护与干燥 310
五、显影（即第二次检查） 312
六、图形转移部分常见故障的产生原因及排除方法 314
七、图形转移常用辅助材料及工具 316
八、模具图文化学铣切 317
九、化学铣切液的配制及常见问题处理 322
十、模具文字制作 324
十一、模具砂纹腐蚀 327

参考文献 329