1 绪论
1.1 研究背景
1.2 研究内容及意义
1.3 章节安排
2 阻尼胶减振技术
2.1 阻尼胶概述
2.2 固态阻尼胶
2.2.1 固态阻尼胶分类
2.2.2 固态阻尼胶应用
2.3 液态阻尼胶
2.3.1 液态阻尼胶分类
2.3.2 液态阻尼胶特点
2.3.3 液态阻尼胶应用
2.4 喷涂胶枪
2.4.1 胶枪分类
2.4.2 手动混合胶枪
2.4.3 喷涂胶枪
2.5 胶枪膜片
2.6 本章小结
3 硬质反应镀膜技术
3.1 硬质反应膜简述
3.2 硬质反应膜发展
3.2.1 单一金属硬质反应膜
3.2.2 多元硬质反应膜
3.2.3 多层梯度硬质复合膜
3.3 本章小结
4 真空镀膜技术
4.1 真空镀膜技术概述
4.2 真空镀膜技术特点
4.3 真空镀膜技术分类
4.3.1 真空蒸发镀技术
4.3.2 真空溅射镀技术
4.3.3 真空离子镀技术
4.3.4 束流沉积技术
4.3.5 化学气相沉积技术
4.4 真空镀膜技术应用
4.5 多弧离子镀技术概述
4.5.1 离子镀技术发展
4.5.2 多弧离子镀技术特点
4.5.3 多弧离子镀技术原理
4.6 本章小结
5 膜片基体制备工艺
5.1 膜片基体选取
5.2 制备工艺
5.2.1 膜片外形尺寸
5.2.2 膜片基体加工工艺
5.3 膜片基体分析
5.3.1 硬度分析
5.3.2 轮廓尺寸分析
5.4 本章小结
6 膜片表面镀膜工艺
6.1 实验设备与材料
6.1.1 实验设备
6.1.2 基材选择与预处理
6.1.3 靶材选择
6.2 镀膜工艺参数
6.2.1 基体负偏压
6.2.2 气体分压
6.2.3 弧电流强度
6.2.4 本底真空度
6.2.5 试样温度
6.2.6 试样转速
6.2.7 沉积时间
6.3 薄膜表征方法
6.3.1 薄膜成分分析
6.3.2 薄膜相结构分析
6.3.3 薄膜硬度测试
6.3.4 膜/基结合力测试
6.3.5 薄膜耐磨性能
6.4 本章小结
7 膜片镀(Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜
7.1 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜制备工艺
7.2 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜形貌
7.2.1 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜表面形貌
7.2.2 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜断口形貌
7.3 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜成分
7.4 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜相结构
7.5 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜硬度
7.6 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜/基结合力
7.7 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜耐磨性
7.7.1 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜摩擦系数
7.7.2 (Ti,Al,Zr,Nb)N单层膜磨损形貌
7.8 本章小结
8 膜片镀(Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜
8.1 (Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜制备工艺
8.2 (Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜形貌
8.2.1 (Tj,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜表面形貌
8.2.2 (Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜断口形貌
8.3 (Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜表层成分
8.4 (Ti,Al,Nb)N/(rri,Al,Zr,Nb)N双层膜相结构
8.5 (Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜硬度
8.6 (Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜/基结合力
8.7 (Ti,Al,Nb)N/(rri,Al,Zr,Nb)N双层膜耐磨性
8.7.1 (Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜摩擦系数
8.7.2 (Ti,Al,Nb)N/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜磨损形貌
8.8 本章小结
9 膜片镀NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜
9.1 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜制备工艺
9.2 NbN/(rri,Al,Zr,Nb)N双层膜形貌
9.2.1 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜表面形貌
9.2.2 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜断口形貌
9.3 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜表层成分
9.4 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜相结构
9.5 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜硬度
9.6 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜/基结合力
9.7 NbN/(Ti.Al,Zr,Nb)N双层膜耐磨性
9.7.1 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜摩擦系数
9.7.2 NbN/(Ti,Al,Zr,Nb)N双层膜磨损形貌
9.8 本章小结
10 膜片镀TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜
10.1 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜制备工艺
10.2 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜形貌
10.2.1 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜表面形貌
10.2.2 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜断口形貌
10.3 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜表层成分
10.4 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜相结构
10.5 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜硬度
10.6 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜/基结合力
10.7 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜耐磨性
10.7.1 TiAlZrNb/(Ti,Al,Zr,Nb)N梯度膜摩擦系数
10.7.2 TiAlZrNb/(Ti,