红外传感器原理与应用

目录
第1章　绪论　1
第2章　红外探测器的分类和非制冷IRFPA开发的变迁　5
2.1　红外探测器的分类　7
2.2　非制冷IRFPA开发的历史　10
第3章　非制冷IRFPA的基础　17
3.1　热型红外探测器的动作　19
3.2　非制冷IRFPA的构成和动作　19
3.3　红外成像　20
3.4　IRFPA的性能指标　24
3.5　非制冷IRFPA的设计　27
3.5.1　决定响应度的主要因素　27
3.5.2　温度传感器　27
3.5.3　热设计　28
3.5.4　红外线吸收　37
3.6　理论极限　44
3.6.1　像素间距　44
3.6.2　NETD　47
第4章　铁电IRFPA　51
4.1　铁电红外探测器的动作　53
4.2　混合铁电IRFPA　55
4.3　铁电薄膜单片式IRFPA　58
第5章　电阻测辐射热计IRFPA　63
5.1　电阻测辐射热计红外探测器的动作　65
5.2　VOx微测辐射热计IRFPA　67
5.3　采用其他材料的电阻测辐射热计IRFPA　71
5.4　电阻测辐射热计IRFPA的像素间距缩小和高分辨率化　76
5.5　中红外范围内具有响应度的非制冷IRFPA　80
第6章　热电IRFPA　83
6.1　热电红外探测器的动作　85
6.2　热电堆IRFPA　87
第7章　二极管IRFPA　95
7.1　二极管红外探测器的动作　97
7.2　硅二极管IRFPA　98
第8章　双材料型和热光型IRFPA　107
第9章　非制冷IRFPA的真空封装技术　113
9.1　真空封装的必要性　115
9.2　初期的真空封装技术　117
9.3　低成本化的改善　118
9.3.1　晶圆级真空封装　118
9.3.2　芯片级真空封装　122
9.3.3　批量处理式真空封装　122
9.3.4　像元级真空封装　124
9.4　微型真空计　126
第10章　非制冷红外相机及应用　129
10.1　非制冷红外相机的构成及应用　131
10.1.1　整体构成　131
10.1.2　光学系统　132
10.1.3　校正　133
10.1.4　温度校正　138
10.2　暗视觉应用　140
10.3　温度测量应用　143
10.4　其他应用　145
参考文献　149
附录　157
跋　165