第1章 绪论 1
1.1 微流控芯片分析系统的国内外研究进展 1
1.2 微流控芯片的研究背景 3
1.2.1 微流控芯片的加工材料 3
1.2.2 微流控芯片的通道加工 4
1.2.3 微流控芯片的表面改性 5
1.2.4 微流控芯片的封接 6
1.2.5 微流控芯片的检测技术 8
1.2.6 微流体控制单元的应用 10
1.3 微流控芯片的研究意义 11
第2章 流体聚焦的理论和优化 12
2.1 微流控芯片的聚焦 13
2.2 微流控芯片关于流体聚焦的仿真 15
2.3 仿真结果 16
2.4 聚焦模型的优化 20
2.4.1 聚焦交口的优化 21
2.4.2 构建优化后微流控芯片模型 24
2.5 本章小结 25
第3章 PDMS微流控芯片的制备工艺研究 26
3.1 器件衬底材料的选择 26
3.1.1 传统衬底材料 27
3.1.2 传统透明材料 27
3.1.3 试验中的透明材料 28
3.2 微流动层材料的选择 31
3.2.1 环氧树脂类负性光刻胶(SU-8) 31
3.2.2 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 31
3.3 浇注法制备微流控芯片的流程 34
3.4 基于SU-8模具微流控芯片的制作 38
3.4.1 实验材料和实验设备 40
3.4.2 制作SU-8胶模具的工艺流程 40
3.4.3 PDMS微流控芯片的加工工艺 45
3.5 纳米热压印工艺 51
3.5.1 压模的制备 52
3.5.2 基底的清洗 53
3.5.3 抗粘层的制备 54
3.5.4 压印胶的配制和旋涂 55
3.5.5 压印中温度、压力、时间的控制 56
3.5.6 参数设置 60
3.5.7 图形转移 61
3.6 实验结果 63
3.7 本章小结 64
第4章 基于流式细胞技术的微流控芯片应用 65
4.1 生物芯片技术要点及分类 65
4.1.1 固相阵列芯片及其局限性 67
4.1.2 悬浮阵列芯片 69
4.2 悬浮阵列检测原理 69
4.2.1 微球载体结构及标记 70
4.2.2 悬浮阵列检测流程 72
4.2.3 悬浮阵列技术特点 74
4.2.4 微球制备 74
4.2.5 微球的荧光编码 75
4.2.6 基于有机染料的荧光编码 76
4.2.7 基于量子点的荧光编码 77
4.2.8 悬浮微球的捕获及捕获阵列的设计 81
4.3 微流控芯片的应用实验 86
4.4 检测实验及结果 90
4.5 本章小结 93
第5章 微流控芯片集成元件的研究 94
5.1 热学模型 94
5.2 应用于微流控芯片的微流量计 96
5.2.1 流量计的仿真 97
5.2.2 实验材料与实验仪器 107
5.2.3 流量计制作工艺流程 107
5.2.4 加工工艺讨论 108
5.2.5 实验结果 109
5.3 微流控芯片中的热膨胀型微阀 111
5.3.1 微阀的原理及其结构 111
5.3.2 加热器温度的计算 112
5.3.3 微流体通道的设计与仿真 112
5.3.4 实验材料与实验仪器 120
5.3.5 微阀加工工艺及工艺参数优化 120
5.3.6 微阀的实验结果 124
5.4 本章小结 126
未来技术与展望 127
参考文献 128