目 录
第 1 章 绪 论 (001)
1 . 1 MEMS 基本特点 (001)
1 . 2 MEMS 在各学科领域的应用研究 (003)
1 . 3 MEMS 研究内容 (005)
1 . 4 MEMS 发展简史 (006)
1 . 5 工艺的发展 (007)
第 2 章 微机电系统力学基础 (009)
1MEMS 尺寸效应 (009)
2 微机械的弹性梁力学问题 (011)
3流体力学 (012)
4黏附力 (013)
5静电力 (015)
参考文献 (016)
第 3 章 MEMS 工艺 (017)
3 . 1 光刻 (017)
3 . 2 淀积 (018)
3 . 3 腐蚀 (019)
3 . 4 键合 (020)
3 . 5 MEMS 工艺的发展趋势 (026)
第 4 章 RF MEMS 器件设计微波基础 (028)
4 . 1 微带传输线 (028)
4 . 2 慢波共面波导传输线 (029)
4 . 3 两端口微波网络 (032)
4 . 4 微波滤波网络 (035)
4 . 5 微尺度下微机械天线的电磁辐射和耦合理论 (036)
4 . 6 分形结构原理 (040)
4 . 7 分形天线的形式结构 (041)
4 . 8 分形自相似滤波原理 (044)
4 . 9 小结 (045)
参考文献 (046)
第 5 章 RF MEMS 可重构天线 (050)
5 . 1 概述 (050)
5 . 2 典型的微波硅基 MEMS 可重构天线设计 (052)
5 . 3 硅基可重构天线设计 (057)
5 . 4 掩膜版的制作 (059)
5 . 5 天线的测试结果 (060)
5 . 6 典型的硅基 MEMS 可重构分形天线设计 (062)
5 . 7 Koch , Single-Arm Spiral , Double-Ring 分形天线的设计 (067)
5 . 8 小结 (073)
参考文献 (074)
第 6 章 RF MEMS 可重构滤波器 (076)
6 . 1 概述 (076)
6 . 2 分布参数法设计微波滤波器 (079)
6 . 3 传输线理论基础 (080)
6 . 4 带通滤波器的设计方法 (083)
6 . 5 典型的 RF MEMS 可调滤波器 (088)
6 . 6 典型的电磁带隙技术滤波器 (097)
6 . 7 基于 MEMS 技术的 EGS 结构用于可重构低通滤波器的设计举例 (103)
6 . 8 MEMS 滤波器的未来发展 (109)
参考文献 (110)
第 7 章 RF MEMS 可重构匹配网络 (114)
7 . 1 概述 (114)
7 . 2 RF MEMS 可重构匹配网络设计方法 (116)
7 . 3 RF MEMS 可重构匹配网络上的电流 (119)
7 . 4 RF MEMS 可重构匹配网络举例 (119)
参考文献 (123)
第 8 章 RF MEMS 谐振器 (127)
8 . 1 概述 (127)
8 . 2 RF MEMS 谐振器基本知识 (128)
8 . 3 RF MEMS 谐振器工艺 (130)
8 . 4 RF MEMS 谐振器研究 (131)
8 . 5 结论 (137)
参考文献 (139)
第 9 章 MEMS 模拟与仿真 (142)
9 . 1 有限元分析介绍 (142)
9 . 2 有限元法分析计算的思路和做法 (143)
9 . 3 COMSOL Multiphysics 软件 (144)
9 . 4 COMSOL 二次开发工具 (148)
9 . 5 其他微机电模拟仿真软件 (149)
9 . 6 微机电模块 (156)
第 10 章 微机电系统材料 (157)
1硅 (157)
2砷化镓 (163)
3MEMS 中的陶瓷材料 (163)
4 形状记忆合金材料 (164)
5 MEMS 中的磁致伸缩材料 (167)
6MEMS 中的流变体 (167)
第 11 章 MEMS 的发展趋势 (170)
11 . 1 可调谐的网络及其滤波器 (170)
11 . 2 开关 (171)
11 . 3 变容器和电感器 (171)
11 . 4 电路和移相器 (171)
11 . 5 小结 (172)
11 . 6 后续 (172)
参考文献 (175)
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