聚焦离子束：应用与实践

　　聚焦离子束（FocusedIonBeam，FIB）是微纳加工、芯片失效分析、微结构科学研究的核心技术装备之一。随着材料、器件的微尺度化（纳米甚至原子尺度）、高集成化（每平方厘米集成10亿个以上的功能单元）、多功能化（在多种外场条件下工作），越来越多的材料微结构研究、器件研发须使用聚焦离子束。全书共分七章，从聚焦离子束的结构原理出发，紧密结合应用与实践，对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述，并配有实际案例进行进一步详解。

　　邓昱，南京大学现代工程与应用科学学院博士生导师，亚原子电子显微镜中心主任，中国分析测试协会青年委员会副主任委员，美国劳伦斯伯克利国家实验室、国家电子显微镜中心访问教授。