微纳加工基础技术与方法

1 绪论
1.1 微加工技术的发展进程
1.2 发展现状
1.3 技术内涵
1.3.1 加工范畴
1.3.2 加工方法
1.4 微纳加工技术
1.4.1 微纳加工技术现状
1.4.2 微纳加工技术简介
2 激光束加工方法
2.1 激光束加工常用光源
2.2 加工用激光器的种类和光束聚光
2.2.1 振荡器
2.2.2 YAG激光器
2.2.3 CO2激光器
2.2.4 光学谐振腔、横模、聚旋光性
2.2.5 高斯形分布激光束的聚光传播特性
2.2.6 热加工
2.2.7 冷加工
2.3 YAG激光加工
2.3.1 YAG激光器
2.3.2 激光打孔的特点
2.3.3 钻孔用激光束
2.3.4 钻孔现象
2.3.5 聚光光学与加工条件
2.3.6 薄膜加工
2.4 准分子激光加工
2.4.1 准分子激光
2.4.2 高分子材料加工
2.4.3 表面改性
2.4.4 表面改性提高
2.4.5 纳米表面改性
2.4.6 准分子激光加工设备
2.5 激光应用加工
2.5.1 激光辅助加工
2.5.2 激光辅助刻蚀
2.5.3 激光焊接
2.5.4 激光辅助切削铣削加工
2.5.5 超声波激光清洗振动
2.5.6 激光光刻
2.5.7 激光修复
2.5.8 激光图案去除加工
2.5.9 作为修复的激光振荡器
2.5.10 激光附加加工方法
3 电子束加工
3.1 电子束加工原理
3.1.1 产生热量
3.1.2 电子束加工类型
3.1.3 电子束加工的特点
3.2 钻孔