中共党员，1985、1987、1990年于华中工学院（华中理工大学，现华中科技大学）机械工程一系机械制造专业分别获工学学士、硕士、博士学位；1990-1992年清华大学精密仪器系博士后、助理研究员，1992年清华大学精密仪器系副教授，1994年清华大学精密仪器系教授。曾任清华大学精密仪器系副主任、主任，机械工程学院院长，校长助理；2015年8月任清华大学党委常委、副校长；2021年10月任华中科技大学校长、党委副书记。2013年当选中国工程院院士。在我国率先开展了微机电系统（MEMS）、智能微系统技术、微纳航天器的技术创新及其工程实践。作为总负责人主持设计、建造、发射和在轨运行“TH-1”、“NS-1”、“NS-2”等多颗微纳卫星，其中NS-1卫星是当时世界上在轨飞行的*小“轮控三轴稳定卫星”，为我国空间微系统与微卫星的科技进步做出了重要贡献；突破了多项自主核心技术，研制出微型MEMS储能器件及能源微系统、MEMS太阳敏感器、微/纳型星敏感器、MEMS开关/继电器、MEMS扫描镜及探测微系统等一系列具有国际先进水平的传感、储能器件与微系统，且多种产品已经在航空、航天等领域实现在轨应用。先后获得国家技术发明奖二等奖3项、国家科学技术进步奖二等奖2项，与*奖励不重复的省部级科技奖励10余项；授权国家发明专利90余项；发表SCI/EI论文400余篇，出版专著4部，译著2部。
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