图1-5 滑阀泵工作原理图

图1-6为滑阀泵结构图。滑阀泵的实际产品中均采用滑阀杆与滑阀环做成一体的结构。

图1-6 滑阀泵结构图

为减少滑阀不平衡惯性力引起的振动，对于单缸单级泵，要在驱动轮的对面一侧加平衡轮，并在驱动轮上加不平衡质量进行平衡减振;对于双缸滑阀泵，采用两个滑阀长度比一般为2:1，相差设置，再在驱动轮上加不平衡质量。对于三缸滑阀泵，有等长缸和不等长缸两种形式，常见为不等长缸。不等长缸，中间是长缸，两侧各为等长短缸，长缸与短缸壁为2:1，相差布置。中间滑阀产生的惯性力由两侧滑阀产生的相反方向的惯性力所平衡，因此，三缸滑阀泵的振动很小，无需将泵固定在地基上就可以正常工作。

与旋片泵相似，滑阀泵也设有气镇阀，气镇孔开在排气口附近或端盖上，以排出含有可凝性蒸气。在极限压力下，为减小泵油冲击排气阀产生的噪声，也可以通过气镇阀向泵内通人少量干燥空气。

在滑阀泵出口处设置有油雾捕集器，用以捕集合回收由排气阀排出的混在被抽气体中的油滴，既可以节省泵油，又可以减少对环境的污染。油雾捕集器一般有三级:第一级是碰撞罩，除去较大的油滴;第二级是不锈钢填料，搜集小油滴;第三级是烧结的玻璃纤维，捕集可见油雾。

(5)罗茨真空泵

罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种无内压缩的旋转变容式真空泵。根据罗茨泵工作压力范围不同，可分为直排大气的干式罗茨泵和湿式罗茨泵，这种罗茨泵属于低真空罗茨泵;此外还有中真空罗茨泵(机械增压泵)和高真空多级罗茨泵等。罗茨泵具有以下的特点:

①在较宽的压力范围内有较大的抽速;

②设有旁通溢流阀，可在大气压力下启动，缩短了抽气时间;

③转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵内运动无摩擦，不必润滑，泵腔内无油;

④转子形状对称，动平衡性能良好，运动平稳，选择高精度的齿轮传动，运动时噪声低;

⑤结构紧凑，占地面积小，通常选卧式结构，泵腔内气体垂直流动，有利于被抽的灰尘或冷凝物的排除;

⑥选择适宜的转子型线和精细的研磨加工，可获得较高的容积效率;

⑦运转维护费用低。